アイトランス株式会社 解析サポートラボ 本文へジャンプ
回路修正サービス



FIB(Focused Ion Beam)、及びレーザーCVDを用いてLSI配線修正を行うサービスです。
不良解析におけるEBテスタやEBAC(電子ビーム吸収電流法)のための測定パッド作成を行います。
対象アプリケーション
 回路修正(低抵抗配線可)、測定パッド作成、その他

対象サンプル
 表面加工、裏面加工
 多種多様なパッケージへの対応
 12インチまでのウェハー,ベアチップ等々

 


配線加工 測定パッド作成
Low-K絶縁膜を保護しながらのCu配線加工 EBテスターやEBAC用パッド作成


多層配線部の切断・接続 論理回路変更
電源・下層配線加工 配線を切断・接続による論理変更